AgilentVarianTwistTorr704阿尔卡特分子泵

新型Agilent Varian TwistTorr 704 FS涡轮分子式高真空泵，ISO 160 K，水冷式







这款全新安捷伦Varian TwistTorr 704 FS涡轮分子式高真空泵采用ISO 160 K进气法兰，KF 25排气，极限压力为1x10 -10Torr和Agilent Varian部件号X3511-64015。TwistTorr 704涡轮分子泵以低成本实现佳性能，泵送速度为660 l / s氮气（N2）。TwistTorr 704采用TwisTorr阻力级，为轻质气体如氢气和氦气提供高压缩比，以提供高通量和高前级压力容差，从而允许使用更小和更经济的前级泵。我们建议主泵尺寸小至8 CFM（例如，Agilent Varian TriScroll 300和IDP-15干式涡旋真空泵或DS302旋片式真空泵），可用于在所有泵送型材中操作TwistTorr 704 FS。带有ISO和Conflat进口法兰的TwistTorr 704涡轮泵是可烘烤的，入口法兰的大烘烤温度为80°C（ISO）和120°C（Conflat）。







安捷伦Varian TwistTorr 704涡轮分子高真空泵集成到许多分析仪器应用中，包括电子显微镜（SEM，TEM），聚焦离子束系统（FIB）和表面分析现代聚焦光束系统，如SEM，TEM和FIB利用色谱柱将电子或离子投射到显微镜样品上进行详细分析。终用户分析从有机化合物到半导体晶片的所有类型的物质。特别是在半导体行业，它们需要更高的灵敏度以获得更好的样品分辨率。另一个关键要求是高样品通量，以降低这些仪器的拥有成本。